10月4日消息,被称为“国之重器”的深圳中能高重复频率X射线自由电子激光装置,其西区主体工程已于9月30日在深圳光明科学城正式动工。
该装置由深圳先进光源研究院和光明科学城发展建设有限公司共建,选址光明科学城核心区,未来这里将形成大科学装置集群。
项目总投资高达114亿元,是深圳建市以来技术最复杂、投资最大的科学装置。项目占地面积约40.52万平方米,总建筑面积约23.2万平方米,总长度约1.8公里,需要横跨三座山体和一座水库,土方总量超过440万立方米。
技术方面,该装置基于超导直线加速器,电子束能量为2.5GeV,重复频率高达1MHz,出光波长覆盖1-30纳米。它是全球唯一一个优势波段位于软X射线波段的高重复频率自由电子激光装置,填补了我国在高重复频率软X射线自由电子激光领域的空白。
该装置能够“拍”下原子和分子在飞秒(千万亿分之一秒)尺度上的动态变化。极紫外光刻、量子材料、生物医药等关键核心技术的突破,都和它息息相关。尤其是极紫外光刻技术,这是下一代芯片制造的核心。有了这个装置,相关技术的研发和验证就能在国内进行,有望为解决“卡脖子”问题提供关键支撑。
西区主体工程主要包括低温大厅、束流测试大厅、超导高频测试组装大厅等,预计2028年建成,将为装置2032年9月出光奠定坚实基础。
历经三年集中攻关,项目的第二批预研项目已进入收官阶段。建设团队在超导加速器、高重复频率技术、实验站关键设备等领域取得了一系列里程碑式突破,为高质量建设打下了基础。
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